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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种防老化推拉舟传动皮带装置-CN201920157580.3有效
发明人：李富林;李宝飞;雷小龙;吕飞;李龙;刘景鹏 -专利权人：通威太阳能（成都）有限公司
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防老化推拉舟传动皮带装置，涉及太阳能电池生产技术领域，本实用新型包括推拉舟基座，推拉舟基座上设置有推拉舟皮带机构，推拉舟基座两端均连接有护板支架，护板支架包括两个连接在推拉舟基座前后侧的连接板，两连接板顶部之间一体连接有顶板，两个顶板之间连接有位于推拉舟皮带机构正上方的的皮带护板，本实用新型具有结构简单、避免皮带直接面临高温炙烤、减缓了皮带老化的优点。
推拉舟本实用新型传动皮带装置护板支架皮带机构防老化皮带太阳能电池生产连接板顶部基座两端皮带护板一体连接连接板老化

[实用新型]防滑扣推拉杆-CN201620644797.3有效
发明人：王鹏;李运金;王毅 -专利权人：扬州扬杰电子科技股份有限公司
申请日： 2016-06-24 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：防滑扣推拉杆。涉及推拉杆，尤其涉及用于硅板舟的推拉杆。提供了一种结构简单，避免损坏，提高质量可靠性的防滑扣推拉杆。所述杆体用于推拉硅板舟；所述杆体呈L形，所述杆体的头部为折弯体，所述折弯体的内侧设有嵌槽一、外侧设有嵌槽二，所述嵌槽一和嵌槽二分别用于放置硅板舟；所述硅板舟上设有推拉孔，所述推拉孔的孔径大于折弯体的截面尺寸所述硅板舟上设有立板，所述立板位于推拉孔的内侧。所述硅板舟上设有一对导板，一对导板相对设置、且位于推拉孔的两侧。
防滑拉杆

[实用新型]立式瓦片舟-CN202022678927.4有效
发明人：李晓佳;王毅 -专利权人：扬州杰利半导体有限公司
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：立式瓦片舟。提供了一种结构简单，方便加工，提高适应性的立式瓦片舟。包括瓦形舟体，所述舟体的两侧均间隔设有定位槽，两侧定位槽内设有挡板，相邻挡板之间用于放置晶片；所述舟体的底面为平面，所述舟体的中间设有水平底槽。所述舟体的一端设有推拉孔，所述推拉孔位于底槽的底部，所述推拉孔位于最外端挡板的外侧。所述定位槽为长条形槽，所述定位槽内设有嵌块一和嵌块二，所述挡板位于嵌块一和嵌块二之间。本实用新型方便加工，操作可靠。
立式瓦片

[实用新型]扩散炉送料机构-CN201920779654.7有效
发明人：贾峻峰;郭锐;周晰 -专利权人：常州银河世纪微电子股份有限公司
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散炉送料机构，包括水平滑轨组件、推拉舟组件以及，隔热挡板。水平滑轨组件包括水平轨道，以及在水平轨道上近扩散炉的炉口处设有的行程开关；推拉舟组件包括适于与水平轨道滑动相接的推拉舟，以及与推拉舟固连的用于支承晶体的且适于部分地伸入至扩散炉内的水平悬臂；在推拉舟上设有适于触发行程开关的触发件
行程开关推拉舟隔热挡板水平轨道扩散炉水平滑轨组件本实用新型水平悬臂送料机构触发行程开关高温晶体滑动相接使用寿命组件包括触发件晶体的炉口处隔挡固连铰接伸入支承受损

[实用新型]一种管式PECVD防呆舟浆-CN201420653461.4有效
发明人：蒋兴祝;张广松;安亮;韩鸣;韩玮智;金建波;王仕鹏;黄海燕;陆川 -专利权人：浙江正泰太阳能科技有限公司
申请日： 2014-11-04 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管式PECVD防呆舟浆，所述防呆舟浆包括：石墨舟推拉杆、定位螺丝和托举装置；所述托举装置安装于所述防呆舟浆的浆头内侧，位于石墨舟脚支撑位置；两根所述石墨舟推拉杆通过所述定位螺丝进行连接定位；所述托举装置包括：固定装置、连接装置和托举块；所述连接装置置于两个所述托举块之间，用于连接所述托举块；所述固定装置置于所述托举块的外侧，用于将所述托举块与所述石墨舟推拉杆进行固定。本实用新型提供的防呆舟浆可有效避免在生产过程中抬放石墨舟时左右放歪，杜绝了安全隐患，提高设备生产稳定性和产品质量，降低了生产成本。
一种 pecvd 防呆舟浆

[实用新型]长运动行程推拉舟机构-CN201921385312.3有效
发明人：宋德鹏;姜良斌 -专利权人：济南力冠电子科技有限公司
申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种长运动行程推拉舟机构，其基本结构包括：机体；滑座；竖滑台；俯仰机构；悬臂；第一驱动装置；第二驱动装置；以及第三驱动装置。依据本实用新型的长运动行程推拉舟机构能够适应载荷，从而使例如石英舟的支撑相对水平。
运动行程推拉机构

[实用新型]管式炉-CN201721287824.7有效
发明人：朱益飞 -专利权人：海宁万润环境检测有限公司
申请日： 2017-09-30 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： F27B17/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管式炉，包括炉体和炉管，所述炉管的中部位于所述炉体内，两端伸出所述炉体，所述炉管两端设有端盖，所述炉体内可移动设置有具有内腔的载料舟，所述内腔的开口朝上，所述各载料舟的底面形状为与所述炉管内壁形状相匹配的圆弧面，所述载料舟的数量至少为两个，且相邻载料舟之间可拆卸连接，在所述端盖上设有穿孔，所述穿孔中设有可沿轴向移动的推拉杆，所述推拉杆的内端与最外端的一个载料舟相连，所述推拉杆的外端设有操作手柄。本实用新型中的结构合理，能够有效提高载料舟取放操作时的便利性。
管式炉

[发明专利]具有热排风机自动控制系统的PECVD设备-CN201210233581.4无效
发明人：朱守权 -专利权人：扬州鑫晶光伏科技有限公司
申请日： 2012-07-08 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：具有热排风机自动控制系统的PECVD设备，涉及太阳能硅电池片生产设备领域，尤其涉及制作减少硅片表面反射的SiN薄膜设备，包括炉管，炉管的一侧设置舟托装置，舟托装置上设置石墨舟和推拉装置，石墨舟与推拉装置连接，舟托装置的上方间隔设置热排装置，热排装置包括风机电控柜，所述风机电控柜内设置继电器，所述舟托装置上连接感应器，感应器的信号输出端与继电器连接。本发明利用感应器采集信号，在出舟时控制风机开启，排放热量。而当舟臂在PECVD炉管内则不需要排放热量，自动关闭风机，节约能源。
具有风机自动控制系统 pecvd 设备

[实用新型]具有热排风机自动控制系统的PECVD设备-CN201220326719.0有效
发明人：朱守权 -专利权人：扬州鑫晶光伏科技有限公司
申请日： 2012-07-08 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：具有热排风机自动控制系统的PECVD设备，涉及太阳能硅电池片生产设备领域，尤其涉及制作减少硅片表面反射的SiN薄膜设备，包括炉管，炉管的一侧设置舟托装置，舟托装置上设置石墨舟和推拉装置，石墨舟与推拉装置连接，舟托装置的上方间隔设置热排装置，热排装置包括风机电控柜，所述风机电控柜内设置继电器，所述舟托装置上连接感应器，感应器的信号输出端与继电器连接。本实用新型利用感应器采集信号，在出舟时控制风机开启，排放热量。而当舟臂在PECVD炉管内则不需要排放热量，自动关闭风机，节约能源。
具有风机自动控制系统 pecvd 设备

[实用新型]扩散系统中的双杆式推拉装置-CN200320101703.0无效
发明人：王茂林;赵学文 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2003-10-24 - 公布日： 2004-12-08 - 主分类号： C30B31/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种扩散系统中的双杆式推拉装置，其结构由双杆式舟、分立夹持装置、位置调节机构、推拉机构与炉门装置组成；双杆式舟为梯型，为两只固定臂中间连有横管结构；这种结构承载硅片稳固、强度较高。分立夹持装置由两组固定夹块、两组活动夹块及其联接螺钉组成；固定夹块与活动夹块分别夹住双杆式舟的两只固定臂，这种结构由于加工精度及误差对夹持的影响很小，不会造成双杆舟的损坏。分立夹持装置固定于位置调节机构上随推拉机构一同移动。实现了自动化，可见本实用新型操作简单、使用可靠、不损坏产品，同时又不会对设备(这里指舟)造成损坏。
扩散系统中的双杆式推拉装置

[实用新型]一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉-CN201620275210.6有效
发明人：蔡伦 -专利权人：温州巨亮光伏科技有限公司
申请日： 2016-04-05 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉。主要解决了现有扩散炉中加工出来的硅片技术参数一致性较差的问题。一种用于扩散炉的推舟装置，推舟装置包括硅舟，硅舟置于悬臂推拉舟机构上，悬臂推拉舟机构均匀排列有栅栏，栅栏置于硅舟四周，栅栏外侧面设有棱角结构，还涉及一种设有推舟装置的扩散炉，推舟装置置于扩散炉本体内，通过扩散炉本体内的导轨固定连接该用于扩散炉的推舟装置结构设计合理简单，设有棱角结构的栅栏能够阻挡气流直接吹向硅舟内部，减小硅舟上硅片受不均匀气流而导致的不合格品量，提高加工出来的硅片的技术参数的一致性，设有漏斗状抽气罩，排掉出舟时散发有毒气体
一种用于扩散装置设有

[发明专利]一种石英推拉舟-CN201511025863.5有效
发明人：崔严匀;巴建锋;季勇 -专利权人：无锡华润华晶微电子有限公司
申请日： 2015-12-31 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供了一种石英推拉舟，包括平行设置的第一舟轴和第二舟轴、连接于第一舟轴和第二舟轴两端的连接轴、横跨于第一舟轴和第二舟轴上的第一插片档桥组及第二插片档桥组，第一插片档桥组和第二插片档桥组包括多个插片档桥，相邻插片档桥之间放置石英插片；第一舟轴上设置多个第一舟槽，第二舟轴上设置多个第二舟槽，第一舟槽和第二舟槽对应设置，晶圆片通过第一舟槽和第二舟槽被承载在石英推拉舟上；第一插片档桥组和第二插片档桥组分别固定于第一舟轴和第二舟轴的两端，第一舟槽和第二舟槽设置于第一插片档桥组和第二插片档桥组之间。
一种石英推拉

[实用新型]用于半导体加工设备的悬臂推拉舟系统及半导体加工设备-CN202020009267.8有效
发明人：赵庆峰;于皓洁;王晓飞 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-01-03 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于半导体加工设备的悬臂推拉舟系统及半导体加工设备，该悬臂推拉舟系统包括支撑梁、滑动组件、承载件和炉门；其中，滑动组件能够沿支撑梁移动；承载件平行于支撑梁，用于承载待加工工件；炉门的一侧连接于滑动组件；滑动组件用于沿支撑梁移动并带动炉门和承载件移动，待承载件进入半导体加工设备的反应腔室，炉门能够密封反应腔室的入口；避免旋转炉门在开启状态下炉口位置暴露在大气环境时间过长，减少了旋转炉门开关次数和悬臂推拉舟的水平往复次数，缩短反应腔室整体回温时间，优化了悬臂推拉舟结构，缩短工艺时间，提升设备产能。
用于半导体加工设备悬臂推拉系统

[发明专利]一种用于PECVD装置的悬臂式推拉舟系统-CN201010529996.7有效
发明人：张宪民;陈家钊;贺振兴;欧阳高飞;邝泳聪 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2010-10-29 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开一种用于PECVD设备的悬臂式推拉舟系统，包括悬臂杆机构、侧面连接机构和滚动直线导套副机构，用于作为悬臂杆机构水平运动和垂直运动导向的滚动直线导套副机构设于PECVD设备的机架上，悬臂杆机构固定于侧面连接机构上本悬臂式推拉舟系统采用由悬臂杆伸入反应腔取放石墨舟的形式，可简化输送系统，提高输送效率；采用侧面固定的形式，可避免石墨舟上硅片碎片掉落到系统上，影响系统正常动作，并可节省空间，可实现多推拉舟同时运动。
一种用于 pecvd 装置悬臂推拉系统

[实用新型]一种用于PECVD装置的悬臂式推拉舟系统-CN201020590341.6无效
发明人：张宪民;陈家钊;贺振兴;欧阳高飞;邝泳聪 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2010-10-29 - 公布日： 2011-07-27 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于PECVD设备的悬臂式推拉舟系统，包括悬臂杆机构、侧面连接机构和滚动直线导套副机构，用于作为悬臂杆机构水平运动和垂直运动导向的滚动直线导套副机构设于PECVD设备的机架上，悬臂杆机构固定于侧面连接机构上本悬臂式推拉舟系统采用由悬臂杆伸入反应腔取放石墨舟的形式，可简化输送系统，提高输送效率；采用侧面固定的形式，可避免石墨舟上硅片碎片掉落到系统上，影响系统正常动作，并可节省空间，可实现多推拉舟同时运动。
一种用于 pecvd 装置悬臂推拉系统

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